用于硅基氮化鎵可調(diào)微鏡的梳齒型微驅(qū)動器的研究.pdf

1、基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的可調(diào)微鏡在通信、計(jì)算、投影、成像等領(lǐng)域具有較好的發(fā)展趨勢。微驅(qū)動器作為一種驅(qū)動機(jī)構(gòu)，為實(shí)現(xiàn)微鏡的連續(xù)可調(diào)提供了關(guān)鍵的技術(shù)支撐。近年來，微驅(qū)動器在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)上已經(jīng)比較成熟，但使用材料仍相對比較單一。氮化鎵作為新一代半導(dǎo)體的代表，與無法自行發(fā)光的傳統(tǒng)硅材料相比，是一種理想的短波長發(fā)光材料。它與硅基材料有著不同的物理特性，因此把氮化鎵材料集成到硅基光微機(jī)電系統(tǒng)從而制備新型微系統(tǒng)或微器件可以擴(kuò)展MEMS的適用領(lǐng)域

2、?；陟o電驅(qū)動的梳齒型微驅(qū)動器是一種性能優(yōu)良的驅(qū)動方式，具有無遲滯、響應(yīng)快、動態(tài)范圍大等優(yōu)點(diǎn)，在微驅(qū)動器中有著最廣泛的應(yīng)用。
　　本文提出并設(shè)計(jì)了一種用于硅基氮化鎵(GaN)可調(diào)微鏡的梳齒型微驅(qū)動器。首先介紹了MEMS系統(tǒng)的概念、應(yīng)用以及發(fā)展現(xiàn)狀，描述了氮化鎵材料的特性和課題研究的背景及意義，概述了靜電梳齒型驅(qū)動的基本原理。然后利用有限元軟件COMSOL Multiphysics建立了該器件的幾何結(jié)構(gòu)模型，對器件的結(jié)構(gòu)(梳齒間隔、