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1、旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)器是MEMS靜電驅(qū)動(dòng)中常用的重要部件?，F(xiàn)有的典型旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)有三個(gè)自由度，其中橫向自由度對驅(qū)動(dòng)器的性能影響較大，導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)角度偏小、響應(yīng)非線性化嚴(yán)重。雙間隙旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)減小了橫向位移，使旋轉(zhuǎn)角度和響應(yīng)線性化有所改善，但是，由于減小了電容變化率，導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)電壓較大。并且雙間隙旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)采用齒根變薄的方法，降低了齒的彈性系數(shù)，使動(dòng)齒和固齒容易接觸短路?！ ♂槍σ延行D(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的缺陷，結(jié)合MEMS標(biāo)準(zhǔn)化的要求，設(shè)計(jì)
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