MOEMS靜電旋轉梳齒驅(qū)動器的標準化研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、旋轉梳齒驅(qū)動器是MEMS靜電驅(qū)動中常用的重要部件?，F(xiàn)有的典型旋轉梳齒驅(qū)動結構有三個自由度，其中橫向自由度對驅(qū)動器的性能影響較大，導致旋轉角度偏小、響應非線性化嚴重。雙間隙旋轉梳齒驅(qū)動結構減小了橫向位移，使旋轉角度和響應線性化有所改善，但是，由于減小了電容變化率，導致驅(qū)動電壓較大。并且雙間隙旋轉梳齒驅(qū)動結構采用齒根變薄的方法，降低了齒的彈性系數(shù)，使動齒和固齒容易接觸短路?！　♂槍σ延行D梳齒驅(qū)動結構的缺陷，結合MEMS標準化的要求，設計

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