基于MES的IC制造制程變更管理系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、半導體制造是根據(jù)客戶提供的電路版圖,通過曝光,蝕刻,研磨,離子注入,薄膜生長等生產(chǎn)步驟的不斷重復將超高純度的硅晶片制作成集成電路模塊的工藝。
　　近幾年,隨著制造業(yè)的迅猛發(fā)展,制造工藝也日益復雜,而在當今如此激烈競爭的市場環(huán)境下,企業(yè)要想占有更多的市場份額,就必須具備更高的市場競爭力。以技術(shù)含量高、制造工藝精細、原材料成本高、產(chǎn)品生產(chǎn)周期短、信息交流速度快為特征的半導體行業(yè)也不例外。半導體制造流程的復雜性和專業(yè)性使其生產(chǎn)管理成為最

2、具挑戰(zhàn)的課題。因此,能擁有一套適應(yīng)企業(yè)業(yè)務(wù)變化需求的、可擴展的、高可用性的MES生產(chǎn)管理軟件顯得尤為重要。然而,由于半導體行業(yè)的特殊性,如何實施MES來提高公司競爭力成為半導體制造企業(yè)思考的主要問題。
　　目前,公司在生產(chǎn)某一個產(chǎn)品之前,制程整合工程師 PIE(Process Integration Engineer)事先會在MES系統(tǒng)中把產(chǎn)品每一步的制程信息設(shè)置完成。同時針對不同步驟,不同機臺,不同產(chǎn)品需要的 Recipe:在晶

3、圓代工行業(yè)中,Recipe是指機臺針對不同的產(chǎn)品和不同的步驟所定義的運行所需要的控制流程。它通常是由制程工程師PE(Process Engineer)在機臺上創(chuàng)建的一個控制文件,這個文件就是產(chǎn)品在MES系統(tǒng)中詳細的制程信息。
　　本文首先分析并結(jié)合了芯片的生產(chǎn)制造,及其關(guān)鍵技術(shù)。由于產(chǎn)品種類的繁多、過程的復雜,客戶需求的變更,還有內(nèi)部工程師的實驗。技術(shù)和產(chǎn)品的不斷更新,制程整合工程師就會頻繁的通過MES改動制程信息,頻繁的改動數(shù)據(jù)

4、會產(chǎn)生錯誤,導致產(chǎn)品報廢。
　　為了能讓生產(chǎn)系統(tǒng)能適應(yīng)企業(yè)業(yè)務(wù)發(fā)展需求,我們需要開發(fā)一個系統(tǒng)能夠動態(tài)的生成制程信息到MES系統(tǒng),同時可以通知相關(guān)部門提前做好準備(機臺參數(shù),物料),系統(tǒng)還應(yīng)具備簽核功能和報表功能,讓制造部能夠清楚地查找工廠里哪一個區(qū)制程變更的頻率的高和低,為未來做好準備,提高機臺自動化的能力。
　　論文著眼于工業(yè)IC制造制程管理及工業(yè)自動化性能改進。著重制程變更的自動化提升,對于降低人為失誤及潛在的產(chǎn)品報廢具