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文檔簡介
1、基于光散射原理的激光塵埃粒子計數(shù)器,具有可以實時測量空氣中塵埃粒子的尺寸、數(shù)目以及測量速度快,精度高,重復(fù)性好等優(yōu)點,在潔凈室潔凈等級鑒定、空氣懸浮顆粒物監(jiān)測、氣溶膠研究等方面得到了廣泛的應(yīng)用。國內(nèi)在這方面比較落后,以往的產(chǎn)品大多是以光電倍增管為光電探測器,計數(shù)靈敏度為0.3μm,最大采樣流量只能達到28.3L/min。而隨著標準的不斷更新及現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,采樣流量為28.3L/min的塵埃粒子計數(shù)器已經(jīng)不能滿足現(xiàn)代工業(yè)的需求,急需研制
2、采樣流量更高的塵埃粒子計數(shù)器。
本文詳細分析了影響傳感器各項性能的因素,提出了在提高傳感器采樣流量的同時不降低其他性能參數(shù)的方法。并在采樣流量為28.3L/min,計數(shù)靈敏度為0.3μm的激光塵埃粒子計數(shù)傳感器的基礎(chǔ)上對傳感器的光路結(jié)構(gòu),氣路結(jié)構(gòu)進行了改進,成功研制出了國內(nèi)首臺采樣流量為50L/min,計數(shù)靈敏度為0.3μm,以半導(dǎo)體光電二極管為光電探測器的新型塵埃粒子計數(shù)傳感器。并以此傳感器為核心制作了一臺完整的激光塵埃
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