版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、近年來,鐵電薄膜已經(jīng)成為新型功能材料和微器件研究領(lǐng)域的熱點(diǎn)。使用鐵電薄膜代替普通場效應(yīng)晶體管中的柵介質(zhì)層而制成的鐵電效應(yīng)晶體管(FeFET)因其非揮發(fā)性存儲(chǔ)、非破壞性讀出、高讀寫速度和低靜態(tài)功耗等優(yōu)勢成為最有潛力的下一代新型存儲(chǔ)器件之一。鐵電薄膜的性能極容易受到應(yīng)變、退極化場和空間電荷分布等因素的影響。然而,FeFET器件結(jié)構(gòu)決定了FeFET中的鐵電薄膜會(huì)存在較大的應(yīng)變和退極化場,以及不均勻的空間電荷分布。因此,開展應(yīng)變、退極化和空間電
2、荷對FeFET電學(xué)性能影響的研究顯得非常必要,這有助于理解鐵電存儲(chǔ)器失效的物理機(jī)制和提高FeFET存儲(chǔ)器的性能。相場理論以基本的熱動(dòng)力學(xué)為基礎(chǔ),在對鐵電薄膜及器件性能的模擬中可以方便的考慮應(yīng)變、退極化場、空間電荷等因素。因此,本文利用相場方法模擬了不同條件下鐵電薄膜內(nèi)的極化分布及其演變,研究了退極化場、晶格失配應(yīng)變和幾種類型的空間電荷分布對FeFET電學(xué)性能的影響。主要內(nèi)容和結(jié)果如下:
1.采用相場理論,基于時(shí)變金茲堡-朗道(
3、TDGL)方程,以極化強(qiáng)度為序參量,模擬了晶格失配應(yīng)變和退極化場對金屬-鐵電-絕緣層-半導(dǎo)體(MFIS)結(jié)構(gòu)中鐵電層電滯回線的影響。結(jié)果表明,在壓應(yīng)變逐漸變?yōu)閺垜?yīng)變的過程中,剩余極化和矯頑場逐漸變小;隨著退極化場的增大,剩余極化和矯頑場也逐漸變小;當(dāng)退極化場大到一定程度時(shí),鐵電薄膜不再保持穩(wěn)定的單疇結(jié)構(gòu),而是形成180°條形疇,極化幾乎隨外電場線性變化。
2.考慮空間電荷分布導(dǎo)致的內(nèi)建電場的不均勻性,研究了幾種空間電荷分布對M
4、FIS結(jié)構(gòu)鐵電層電滯回線的影響。結(jié)果表明,對稱分布(包括均勻分布)的空間電荷導(dǎo)致電滯回線被壓縮,不對稱的空間電荷分布不僅導(dǎo)致電滯回線偏移還導(dǎo)致其扭曲變形。經(jīng)分析,這些畸化變形的原因是由于電疇翻轉(zhuǎn)過程中反向疇成核和疇壁移動(dòng)受到內(nèi)建電場的促進(jìn)或阻礙作用引起的。
3.在上述模型的基礎(chǔ)上,結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)MOSFET的基本器件方程,模擬了應(yīng)變、退極化場和空間電荷分布對MFIS結(jié)構(gòu)的FeFET的C-V特性、輸出特性等電學(xué)性能的影響。結(jié)果表明,在
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 殘余應(yīng)力及界面效應(yīng)對FeFET電學(xué)性能影響的相場模擬.pdf
- 空間電荷對長間隙放電特性影響的研究.pdf
- 電暈放電空間電荷背景對間隙放電的影響研究.pdf
- 界面效應(yīng)對電荷疇鐵電薄膜性能影響的相場模擬.pdf
- 溫度對聚合物絕緣中空間電荷行為的影響.pdf
- 電暈空間電荷對直流輸電線路雷電屏蔽性能影響的仿真研究.pdf
- 溫度對電聲脈沖法聚合物空間電荷測量的影響.pdf
- 納米填料對聚乙烯復(fù)合物空間電荷行為的影響.pdf
- 基于LIPP法的空間電荷測量系統(tǒng).pdf
- 基于空間電荷理論的脈沖電容器性能研究.pdf
- 空間電荷對棒一板間隙電放電路徑的影響研究.pdf
- 半導(dǎo)電屏蔽材料改性對XLPE絕緣內(nèi)空間電荷分布的影響.pdf
- 空間電荷對空氣間隙放電影響的試驗(yàn)研究.pdf
- 交聯(lián)溫度對交聯(lián)聚乙烯電纜絕緣中空間電荷特性的影響.pdf
- 冷卻方式對LDPE-MMT納米復(fù)合材料空間電荷行為影響的研究.pdf
- 變溫空間電荷測試系統(tǒng)的設(shè)計(jì).pdf
- 聚烯烴的結(jié)晶形態(tài)和空間電荷的關(guān)系研究.pdf
- 連續(xù)高壓脈沖下空間電荷對變頻牽引電機(jī)絕緣老化影響的研究.pdf
- 抗氧劑及熔體去氣對LDPE空間電荷及電導(dǎo)特性影響.pdf
- 油紙絕緣介質(zhì)的直流空間電荷特性研究.pdf
評論
0/150
提交評論