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1、微泵是將電能、熱能等轉(zhuǎn)化為流體動(dòng)能的一種新型流體傳輸部件,是微流體系統(tǒng)中重要的執(zhí)行器件。多孔介質(zhì)電滲泵主要應(yīng)用于流體驅(qū)動(dòng)裝置的微芯片冷卻系統(tǒng),還可用于生物、化學(xué)、醫(yī)藥等其它諸多領(lǐng)域,例如DNA合成、藥物的輸送、微流量供給、微型衛(wèi)星、燃料電池等。
本文的目的是對(duì)多孔介質(zhì)電滲泵性能進(jìn)行研究,分析電滲泵的流率和壓力,制作出多孔介質(zhì)電滲泵,以期能用于后續(xù)工作的芯片冷卻系統(tǒng)中。本文首先研究雙電層和電滲流理論,給出了電滲泵性能測(cè)試系統(tǒng)
2、與芯片冷卻系統(tǒng)的總體方案設(shè)計(jì)。在電滲流控制方程的基礎(chǔ)上,利用Debye-Huckel近似得到單根圓形管電滲流的近似解析模型。用Coventorware對(duì)電滲流進(jìn)行仿真,分析電場(chǎng)強(qiáng)度、溶液濃度、微流道孔徑、微流道長(zhǎng)度對(duì)電滲流流率和壓差的影響?;陔姖B流的近似解析模型,采用截?cái)喔咚狗植紝?duì)多孔介質(zhì)電滲泵進(jìn)行數(shù)值分析。完成了電滲泵的設(shè)計(jì)與加工,并選取合適的鉑網(wǎng)電極與便攜式直流電源。在此基礎(chǔ)上配制不同濃度的溶液,對(duì)電滲泵的性能進(jìn)行試驗(yàn)分析。試驗(yàn)結(jié)
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