絨面襯底SnO2納米顆粒薄膜型氣敏傳感器的性能研究.pdf

1、近年來，乙醇與甲烷氣體的檢測受到了廣泛的關注。在眾多的研究材料中，SnO2納米顆粒在各方面性能上較傳統(tǒng) SnO2材料而言有明顯的優(yōu)勢，成為了研究熱點之一。絨面結構襯底具有較大的比表面積，較多的表面缺陷和高的活化能。基于以上優(yōu)點，本文開展了絨面襯底 SnO2納米顆粒薄膜型氣敏傳感器對乙醇和甲烷氣體傳感特性的研究。具體的研究內容如下：
　?。?）通過電子束蒸發(fā)在硅片或者玻璃襯底上沉積Ti叉指電極，利用多功能磁控濺射制備 SnO2納米顆

2、粒薄膜，就生長工藝中的功率與氧分壓對傳感性能的影響進行參數(shù)優(yōu)化。發(fā)現(xiàn)采用錫靶，氧分壓為20％，功率、壓強分別為70W、0.5Pa，靶基距為6.5cm時有較好的響應值。生長速率在3nm/min左右時，顆粒尺寸在16nm左右。
　?。?）根據(jù)NaOH溶液與硅的各向異性腐蝕原理，對硅片襯底進行濕法腐蝕，得到具有金字塔結構的絨面硅襯底，具有較大的比表面積和表面缺陷。實驗發(fā)現(xiàn)，在檢測乙醇氣體時，傳感器的響應時間以及各項性能都有較大的改善，響