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文檔簡介
1、隨著氣體檢測的廣泛應用，氣敏材料的研究引起人們越來越多的關(guān)注。開發(fā)和研究新型氣敏材料，已成為提高氣敏傳感器的靈敏度、選擇性、功耗等特性的重要方法之一。
本文所研究的氣敏材料是對乙醇氣體敏感的多壁碳納米管負載二氧化錫納米粒子摻雜NiO的薄膜材料。首先采用溶膠凝膠技術(shù)將溶有多壁碳納米管的Sn(OH)4水溶膠旋涂于基片上，燒結(jié)后形成二氧化錫包覆碳納米管的薄膜，再通過等離子體轟擊的方法將碳納米管裸露出來，使其參與導電，進行電荷傳輸，減
2、小體電阻，在此膜上制作金叉指電極，再在電極之上通過磁控濺射技術(shù)制備摻雜NiO的二氧化錫薄膜，通過摻雜，使其對乙醇具有良好的選擇性。
通過對Ni-SnO2/MWNTs薄膜材料的氣敏特性分析，我們得出Ni-SnO2/MWNTs薄膜的最佳工作溫度為300℃左右。在此溫度下，對乙醇氣體濃度為500ppm時測試，該薄膜的靈敏度有顯著的提高，靈敏度高達72。由于摻雜了NiO，其對乙醇氣體有良好的選擇性，對其他一些還原性氣體的靈敏度都不高。
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