金屬陣列結(jié)構(gòu)樣品制作及微波太赫茲波透射實(shí)驗(yàn)觀測(cè).pdf

1、本論文經(jīng)過(guò)比較幾種100 微米以下亞波長(zhǎng)金屬孔陣列結(jié)構(gòu)太赫茲樣品的制作方法，確定了利用光刻和濕法腐蝕工藝制作太赫茲波段金屬周期性結(jié)構(gòu)嵌套小孔樣品的方案。本論文討論了光刻和腐蝕制作樣品過(guò)程中各種的工藝參數(shù)，摸索出有一定參考價(jià)值的制作樣品的參數(shù)。利用Mini-z 系統(tǒng)研究了樣品的透射特性，得到一些有價(jià)值的結(jié)論。本論文的主要結(jié)論如下：
　　 (1)樣品制備：通過(guò)對(duì)光刻工藝參數(shù)和刻蝕環(huán)境等的控制可以制作精度較高的太赫茲波段樣品；在對(duì)準(zhǔn)曝

2、光時(shí)，通過(guò)二次gap 調(diào)整可以較好減小衍射，提高曝光精度。
　　 (2)微波透射特性：當(dāng)金屬薄膜襯底層非常薄時(shí)，襯底介質(zhì)對(duì)微波的影響非常微弱，金屬帶襯底結(jié)構(gòu)的微波增強(qiáng)傳輸是由金屬表面陣列小孔支持的最低階TM 束縛模的二次散射產(chǎn)生的；金屬表面制作的小孔能夠支持人工表面等離子體，且能通過(guò)改變小孔幾何參數(shù)調(diào)制微波通過(guò)亞波長(zhǎng)小孔的傳輸特性。
　　 (3)太赫茲波透射特性：正方形大孔嵌套矩形小孔時(shí)，小孔的幾何大小對(duì)透射率有一定影響