微納波導(dǎo)光柵及其制造技術(shù)研究.pdf

1、Bragg光柵結(jié)構(gòu)因其對特定波長良好的選擇反射作用，而在日益增長的光纖通信系統(tǒng)，尤其是波分復(fù)用系統(tǒng)中，得到越來越廣泛的應(yīng)用。它被廣泛用來制作光學(xué)濾波器、半導(dǎo)體激光器、光纖傳感器等光電子器件，器件的性能很大程度上決定于內(nèi)置Bragg光柵的質(zhì)量。自Bragg光柵的概念提出后，探尋簡便、低成本加工的方法就一直沒有停止過。
　　 納米壓印作為一種新的微納圖形結(jié)構(gòu)加工方法，具有高分辨率、低成本、高產(chǎn)量和操作簡便等一系列優(yōu)點，應(yīng)用前景廣闊。

2、本文以分布反饋半導(dǎo)體激光器和DBR型可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器為研究對象，圍繞基于納米壓印技術(shù)制作激光器波導(dǎo)光柵展開了一系列的研究和探索。具體工作如下：
　　 （1）簡要介紹了Bragg光柵的結(jié)構(gòu)特點和基本理論，概述了包括激光全息曝光和電子束光刻在內(nèi)的，傳統(tǒng)微納光柵加工工藝。
　　 （2）詳細(xì)介紹了納米壓印加工技術(shù)，包括其典型的工藝流程和對工藝過程中所用壓印模版、壓印膠等材料的要求等。
　　 （3）通過引入一個中間軟模版