微納光柵制備及其偏振特性的研究.pdf

1、偏振成像提供了有別于強(qiáng)度（即明暗）、頻率（即顏色）以外的另一維度的信息。偏振片是偏振成像的重要組件，能實現(xiàn)對特定偏振方向光的過濾功能。隨著納米加工工藝的發(fā)展，亞波長尺度的微納光柵得以實現(xiàn)并被證明有偏振特性。微納光柵作為一種新型的偏振片，具有體積小、可集成的優(yōu)點(diǎn)。
　　本文面向偏振成像的應(yīng)用，利用干涉光刻的方法和電子束曝光的方法制造了200nm周期的偏振光柵結(jié)構(gòu)。首先利用等效介質(zhì)理論分析了微納光柵的偏振性，同時利用FDTD軟件對光柵

2、進(jìn)行三維仿真，驗證了其偏振性。其次，基于干涉光刻的原理與典型光路設(shè)計了液浸式干涉光刻系統(tǒng)，討論了液浸式干涉系統(tǒng)需滿足的約束條件，分析了盛液體的三角容器與光束入射角的幾何關(guān)系，并給出了增加精度簡化流程的光路調(diào)整方法。接著，使用電子束曝光和反應(yīng)離子束刻蝕的方法制造了多方向微納光柵陣列，成功實現(xiàn)了周期200nm鋁光柵的制造，并根據(jù)光學(xué)顯微鏡的圖像優(yōu)化了反應(yīng)離子束刻蝕的時間。最后，搭建光路驗證了鋁光柵的偏振性，并測出了鋁光柵的消光比。制造的微納