大量程高精度的低相干光纖在線絕對(duì)位移測(cè)量系統(tǒng).pdf_第1頁(yè)
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1、本課題提出了一個(gè)新型的適用于大臺(tái)階測(cè)量的大量程高分辨率低相干光纖在線絕對(duì)位移測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量系統(tǒng)利用光纖光柵作內(nèi)置反射鏡集成了兩個(gè)光路幾乎重合的光纖邁克爾遜干涉儀，其中一個(gè)光纖邁克爾遜干涉儀利用自動(dòng)反饋補(bǔ)償環(huán)消除環(huán)境干擾對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響，使系統(tǒng)適用于在線測(cè)量。另一個(gè)光纖邁克遜干涉儀完成測(cè)量工作。探測(cè)器接收到包含被測(cè)量信息的高相干度干涉信號(hào)和低相干度干涉信號(hào)，經(jīng)光電轉(zhuǎn)換和采集卡A/D轉(zhuǎn)換后送入計(jì)算機(jī)解調(diào)得到被測(cè)位移量。系統(tǒng)將基于光纖邁克爾遜

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