無掃描光纖低相干干涉絕對測量技術(shù).pdf

1、本文提出了一種無掃描光纖低相干干涉絕對測量技術(shù)。由中心波長為850nm，譜寬為44.16nm的寬帶光源發(fā)出的光通過光纖Michelson干涉儀獲取被測量信息，色散光柵將寬譜干涉光束色散成波長在空間連續(xù)分布的光片，由線陣CCD探測。將線陣CCD的各個像元探測到的各個波長干涉信號轉(zhuǎn)換成對應(yīng)的波數(shù)干涉信號。由于相鄰兩個波數(shù)干涉信號峰值點之間的波數(shù)變化量與干涉儀光程差的絕對值成正比，因此利用該測量系統(tǒng)可實現(xiàn)對物理量的高精度絕對測量。不同于現(xiàn)有的

2、低相干干涉測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)在測量過程中無需對干涉儀的光程及光源的波長進行掃描，這不僅簡化了測量系統(tǒng)，而且使測量速度得到了顯著的提高。在測量系統(tǒng)中，利用光纖布拉格光柵(FBG)產(chǎn)生一個反饋信號進入反饋控制電路，從而穩(wěn)定Michelson干涉儀的光程差。通過該反饋控制電路，抑制了環(huán)境變化對測量系統(tǒng)的干擾，從而使系統(tǒng)能夠得到高精度的測量結(jié)果，并適用于在線測量。本測量系統(tǒng)的測量分辨率為6.03nm。對一個高度為50μm的臺階重復測量10次，測量