探空溫濕壓集成傳感器的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所碩士學(xué)位論文探空溫濕壓集成傳感器的研究姓名：武宇申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：物理電子學(xué)指導(dǎo)教師：趙湛20040601AbstractTheintegratedsensorforatmospheredetectionconsistsoftemperature，humidityandpressureSensorsononechip，whichareusedinairballoondatacollectionbeforesp

2、aceflightlaunchThetraditionalsensorsforatmosphereresearchhavemanydisadvantages，suchaslargevolume，separatedsensorsandhighcostSotheyweFenotadaptedtotherequirementofminitypespaceflightinstrumentItisimportanttomakeresearchon

3、microsensorsintegratingtemperature，humidityandpressuretransducersBasedonSi3N4material，thispaperdescribedadesignofintegratedsensorchipforatmosphereresearch，whichhadintegratedhnmidity，pressureandtemperaturesensoLConsiderin

4、gMEMSprocessingcompatibility，thermalconductivityprinciplewasadoptedtomeasurehumidityandPtresistanceusedtomeasuretemperature，andcapacitivesensortomeasurepressureThemeasuremethodwasintroducedandthecharacteristicsofthesenso

5、rhavebeencalculatedandsimulatedTofindasimplerprocessing，theintegratedsensorsbasedpolyimidewasdesignedandfabricated，andtheprocessingwassummarizedDatabasedonthetestofthechiprudimentwereanalyzedsothatwecanoptimizethedesignt

6、oimprovetheperformanceofthesensorsincludingprecision，stabilityandlinearityTheadvantagesanddisadvantagesofdifferentdesignsweIecomparedanddiscussedforchoosingasimple，efficientandcheaptechnologyinthenextworksKeywords：integr

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