厚膜微壓傳感器的研究.pdf_第1頁
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1、針對(duì)目前我國工業(yè)過程自動(dòng)控制、機(jī)電一體化及其他應(yīng)用領(lǐng)域微壓測(cè)量用工業(yè)變送器、液位計(jì)技術(shù)的需要,采用較大半徑/厚度比(r/h)的新型超薄微壓陶瓷彈性體設(shè)計(jì)和高性能釕酸鹽厚膜應(yīng)變電阻,并運(yùn)用厚膜印刷、燒結(jié)工藝技術(shù),研制出工作溫度高、耐腐蝕、性能價(jià)格比高的新型厚膜微壓力傳感器.本論文首先系統(tǒng)的介紹了厚膜技術(shù)基礎(chǔ)知識(shí)及厚膜微壓傳感器設(shè)計(jì)的原理和方法.根據(jù)厚膜壓力傳感器的基本原理,對(duì)厚膜微壓傳感器進(jìn)行理論分析、方案設(shè)計(jì)和電路設(shè)計(jì),并給出信號(hào)調(diào)理電

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