大功率Nd-YAG激光振鏡掃描系統(tǒng)的研究.pdf

1、激光加工系統(tǒng)作為一種精確、可靠、高效率和近乎完美的加工工具，其開發(fā)和研制受到越來越廣泛的關注。激光掃描振鏡系統(tǒng)的引入，可以有效提高激光加工的效率，改善激光加工的質(zhì)量。目前國內(nèi)激光掃描振鏡系統(tǒng)仍然停留在小功率應用階段，例如激光標刻。隨著大功率激光加工應用的推廣，對在高功率激光環(huán)境下工作的掃描振鏡系統(tǒng)的研制也提出了新的需求。
　　 本論文根據(jù)國內(nèi)外高功率Nd:YAG 激光設備的特點，研究了適用于在高功率激光環(huán)境下工作的激光掃描振鏡系

2、統(tǒng)。在分析掃描振鏡系統(tǒng)的組成和工作原理的基礎上，完成了系統(tǒng)的光學設計和機械設計。
　　 系統(tǒng)的光學部分以設計需求為依據(jù)。首先根據(jù)入射光斑的大小確定了振鏡反射鏡的結(jié)構，之后著重研究了系統(tǒng)F-THETA 鏡的設計，采用PW 法對透鏡的初始結(jié)構進行了計算，采用ZEMAX 光學設計軟件并結(jié)合像差理論完成了像差的矯正，并通過各項像質(zhì)評價指標給出了所設計鏡組的像質(zhì)評價。系統(tǒng)的機械部分采用了SolidWorks與OptisWorks 軟件相結(jié)