準(zhǔn)分子激光與Nd-YAG激光沉積純金屬薄膜的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該課題首先利用準(zhǔn)分子(KrF)激光器進(jìn)行了PLD沉積金屬薄膜材料的實(shí)驗(yàn)研究,探討了準(zhǔn)分子激光PLD法沉積金屬薄膜的沉積速率、薄膜質(zhì)量與激光參數(shù)等的關(guān)系.為克服準(zhǔn)分子激光輸出功率小,沉積速率(Al)過低等不足,我們首次使用較高頻率,較高輸出功率的脈沖Nd:YAG激光進(jìn)行薄膜沉積的實(shí)驗(yàn)研究,以沉積純Al薄膜為主,研究PLD(Nd:YAG)沉積金屬薄膜的特點(diǎn).為克服PLD薄膜沉積速率因靶面形貌的改變而下降的缺點(diǎn),我們提出并實(shí)現(xiàn)了液體靶材PLD

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