合金元素Si和Al對CrN薄膜結構及性能的影響.pdf

1、氮化鉻薄膜具有摩擦系數低，熱穩(wěn)定性高，耐腐蝕性能佳等優(yōu)點，是頗具潛力的表面保護涂層材料。然而，CrN薄膜硬度較低，是限制其大規(guī)模工業(yè)化應用的首要因素。為進一步提高CrN薄膜的性能，本文采用閉合場非平衡磁控濺射方法，分別添加合金元素Si和Al形成CrSiN和CrAlN薄膜，采用X光電子能譜(XPS)研究了薄膜表面成分與化學鍵狀態(tài)，通過X射線衍射(XRD)、聚焦離子束(FIB)和透射電鏡(TEM)研究了薄膜的微觀組織結構，使用納米壓痕儀測量

2、了薄膜的殘余應力和力學性能，并結合聚焦離子束和納米壓痕儀探索了兩種薄膜的變形機制，系統(tǒng)的研究了薄膜的成分與微觀組織結構、變形機制、力學性能等因素之間的聯系，并進一步探索了超硬CrAlN薄膜的硬化機理。
　　 硅合金化對CrSiN薄膜組織與性能的影響研究表明，隨著硅含量增加，薄膜組織結構趨于致密。當硅含量較小的情況下，薄膜保持柱狀結構，晶界處出現Si3N4非晶。硅含量進一步增加時，形成納米CrN晶分布于非晶Si3N4基體上。隨著硅

3、含量增加，薄膜內部殘余應力先增大后降低，薄膜硬度也先增大后降低。當硅含量較小時，薄膜通過晶粒間的剪切滑動發(fā)生變形，在這種變形機理控制下，薄膜的硬度增加到35.8 GPa。當硅含量進一步增加，大量非晶Si3N4出現引起薄膜脆化，使得硬度下降。
　　 鋁合金化對CrAlN薄膜組織與性能的影響研究發(fā)現，CrAlN薄膜隨著鋁含量的增加，薄膜一直呈現CrN單相，薄膜擇優(yōu)取向由(200)逐漸轉向(111)和(220)。CrN的晶粒尺寸達到納

4、米級，但宏觀上保持著柱狀晶，當鋁含量增加到一定量時，會形成非晶AlN包裹CrN晶的納米復合結構。隨著鋁含量增加，CrAlN薄膜內部的殘余應力從2.5 GPa上升到3.8 GPa，同時薄膜的硬度明顯上升，達到42.5 GPa，實現超硬度，同時保持著良好的韌性。CrAlN薄膜變形以柱間剪切滑動為主。隨著Al含量增高，薄膜變形過程中易在薄膜與基體的界面形成徑向裂紋。
　　 結合CrAlN的柱間剪切滑動的變形機制，進一步討論了CrAlN