2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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1、高速開關(guān)電磁閥是等離子體滲氮流量控制系統(tǒng)最基本、最關(guān)鍵的元件。它的工作可靠性及壽命直接影響整個(gè)流量控制系統(tǒng)。本文在電磁閥的材料、加工精度、后處理工藝、裝配工藝與磁路設(shè)計(jì)方面都作了相應(yīng)的優(yōu)化選擇。采用調(diào)節(jié)開關(guān)的脈寬調(diào)制（PWM）方法，控制電磁閥的開啟與關(guān)斷時(shí)間比例來控制氣體流量，同時(shí)對(duì)線圈采用了降幅雙壓驅(qū)動(dòng)技術(shù)以改善精度，提高真空閥的開關(guān)特性，開關(guān)響應(yīng)時(shí)間達(dá)到了7ms。本文設(shè)計(jì)的高速真空電磁閥工作在“開” “關(guān)”兩種狀態(tài)下，與計(jì)算機(jī)接口

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