等離子體滲氮系統(tǒng)流量控制研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩40頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、高速開關(guān)電磁閥是等離子體滲氮流量控制系統(tǒng)最基本、最關(guān)鍵的元件。它的工作可靠性及壽命直接影響整個流量控制系統(tǒng)。本文在電磁閥的材料、加工精度、后處理工藝、裝配工藝與磁路設(shè)計方面都作了相應的優(yōu)化選擇。采用調(diào)節(jié)開關(guān)的脈寬調(diào)制（PWM）方法，控制電磁閥的開啟與關(guān)斷時間比例來控制氣體流量，同時對線圈采用了降幅雙壓驅(qū)動技術(shù)以改善精度，提高真空閥的開關(guān)特性，開關(guān)響應時間達到了7ms。本文設(shè)計的高速真空電磁閥工作在“開” “關(guān)”兩種狀態(tài)下，與計算機接口

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論