表面波等離子體源合成摻氮非晶碳膜及其等離子體診斷.pdf

1、非晶碳膜不但具有許多與金剛石相近的性質(zhì),如高硬度、耐磨損、低磨擦系數(shù)及化學(xué)惰性等,而且非晶碳膜在制備上具有明顯的優(yōu)勢(shì),既可采用等離子體物理氣相沉積技術(shù)又可采用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù),同時(shí)具有很寬的沉積參數(shù)窗口,尤其是可以在低溫或接近室溫的條件下制備.這些為它的實(shí)際應(yīng)用建立了一個(gè)良好的前提.近年來(lái)非晶碳膜的研究一個(gè)重要方面就是非晶碳膜性能的可調(diào).該論文運(yùn)用實(shí)驗(yàn)室自行研制的Waveguide-Surfatron大面積表面波等離子體源在非晶

2、碳膜中成功地引入了氮元素,并通過(guò)調(diào)節(jié)成膜時(shí)的宏觀參量達(dá)到不同程度的摻氮效果,進(jìn)而調(diào)節(jié)了非晶碳膜結(jié)構(gòu)和性能.通過(guò)在甲烷氣體中引入適量的氮?dú)?我們成功的在合成的非晶碳膜中進(jìn)行了摻氮,在典型的條件下,所得摻氮非晶碳膜N/C比大致為13％.采用Raman光譜、X射線光電子能譜(XPS)等手段對(duì)多種工藝條件下?lián)降蔷寄さ慕Y(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行了研究,同時(shí)利用靜電雙探針、離子能量分析器、發(fā)射光譜等等離子體診斷手段對(duì)相關(guān)的等離子體特性進(jìn)行了測(cè)量,并將工藝和