碳化硅外延石墨烯以及分子動(dòng)力學(xué)模擬研究.pdf

1、石墨烯是一種碳原子緊密堆積的蜂窩狀二維晶格結(jié)構(gòu),這種最簡單的復(fù)雜材料在04年制備出來以后因其表現(xiàn)出的各種優(yōu)異的物理、化學(xué)、電學(xué)等特性以及由此有望產(chǎn)生的廣泛的應(yīng)用空間,讓許多科研者投身到對(duì)它的研究之中。文中介紹了如今制備石墨烯的主流方法,著重介紹利用碳化硅外延石墨烯的發(fā)展以及優(yōu)勢(shì),這種不用轉(zhuǎn)移襯底制備石墨烯的方法為后續(xù)微納電子的發(fā)展提供了保證。從目前發(fā)展來看,制備大面積高質(zhì)量石墨烯是后續(xù)對(duì)其深入研究的基礎(chǔ)。
　　 本文利用已有的實(shí)

2、驗(yàn)條件,成功利用碳化硅在超高真空條件退火后制備出石墨烯,并利用AFM、拉曼頻譜等工具實(shí)現(xiàn)了對(duì)石墨烯大小的估算測量與表征,通過對(duì)于工藝條件的改進(jìn)實(shí)現(xiàn)了微米級(jí)別石墨烯生長,雖然這樣大小的面積還是無法滿足后續(xù)研究,但是相信隨著對(duì)于生長機(jī)理、工藝條件比如生長的氣氛、壓力、溫度、退火時(shí)間的研究與石墨烯表征手段的探索,很快能實(shí)現(xiàn)制備并表征大面積高質(zhì)量的石墨烯,為后續(xù)進(jìn)一步研究石墨烯相關(guān)性質(zhì)和實(shí)際應(yīng)用打下良好的基礎(chǔ)。
　　 本文還研究了利用分