從三維拓?fù)涞蕉S版圖——MEMS版圖自動(dòng)生成與工藝匹配系統(tǒng)研究與實(shí)現(xiàn).pdf

1、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)因?yàn)槠湓谌蛐畔⒓夹g(shù)、網(wǎng)絡(luò)、微電子學(xué)和生物及細(xì)胞技術(shù)等方面的巨大價(jià)值，成為全球熱門研究領(lǐng)域之一。但是，MEMS發(fā)展遠(yuǎn)未成熟，其中設(shè)計(jì)與加工脫節(jié)是一個(gè)突出的問(wèn)題。在以前的工作中，我們提出并實(shí)現(xiàn)了虛擬MEMS加工工藝系統(tǒng)，使得設(shè)計(jì)者在完成工藝流程設(shè)計(jì)之后就能看到加工后的結(jié)果，為解決上述問(wèn)題提供輔助了手段。在此基礎(chǔ)上，本文力求通過(guò)對(duì)MEMS加工方面專家經(jīng)驗(yàn)的進(jìn)一步提煉，在MEMS工藝流程設(shè)計(jì)自動(dòng)化方面做出貢獻(xiàn)。

2、 本文首先引入了反饋式專家系統(tǒng)運(yùn)作方式的概念。反饋式專家系統(tǒng)運(yùn)作方式在專家系統(tǒng)的推理過(guò)程中引入了反饋，這使得推理不再是單向的過(guò)程。進(jìn)一步，基于反饋式專家系統(tǒng)的運(yùn)作方式，本文提出了版圖的自動(dòng)生成與工藝匹配系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu)。在體系結(jié)構(gòu)中劃分了系統(tǒng)的主要功能模塊并對(duì)系統(tǒng)的運(yùn)作方式進(jìn)行了闡述。 在系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，本文對(duì)系統(tǒng)的各主要模塊依次進(jìn)行了詳細(xì)分析。第一步，本文分析了系統(tǒng)的輸入輸出模塊。系統(tǒng)的輸入模塊負(fù)責(zé)將用戶提供的設(shè)計(jì)器件

3、三維結(jié)構(gòu)拓?fù)湫畔⑥D(zhuǎn)化為可供系統(tǒng)推理機(jī)識(shí)別的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。輸出模塊按照MEMS工藝描述的要求輸出可供生產(chǎn)線加工的工藝文件和版圖文件，同時(shí)對(duì)推理流程進(jìn)行解釋。其次，本文依據(jù)虛擬工藝推理規(guī)則和MEMS工藝特點(diǎn)分析，提出了版圖的自動(dòng)生成與工藝匹配系統(tǒng)的推理規(guī)則，并根據(jù)推理規(guī)則建立了知識(shí)庫(kù)。而后，本文對(duì)系統(tǒng)推理機(jī)的實(shí)現(xiàn)框架進(jìn)行了詳細(xì)分析，并進(jìn)行了一些初步的工藝和版圖的優(yōu)化工作。 在文章末尾，我們實(shí)現(xiàn)了版圖的自動(dòng)生成與工藝匹配原型系統(tǒng)。介紹了系