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1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文紅外焦平面用PSTSi鐵電薄膜的制備與性能研究姓名：簡余良申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：孫平吳沖若20010301東南大學(xué)碩士學(xué)位論文StudyofPreparationandPropertiesofPST／SiFerroelectricFiImforInfraredFocalPlaneABSTRACTTheferroelectricmaterialhasSOmanyexcellentprop
2、erties，thatitcanbeappliedinalotoffieldsTheapplicationsofferroelectricinthefieldsofstorageanduncooledinfrareddetectionareespeciallyinterested(Pb；Srl。)Ti03(PST)isakindofperovskiteferroelectricmaterialwithexcellentpropertie
3、s，whichischaracteristicoftheadjustableCurietemperature，lowcrystallizedtemperate，highpermittivityandhighpyroelectriccoefficientOarworksistoresearchthetechniquesofdepositingPSTferroelectricthinfilmonsiliconsubstrateswithhi
4、曲frequencymagnetronsputteringandanalysethepropertiesoftheferroelectricthinfilmsThePSTtargetsbeingsinteredunderlowtemperatureandwithinshorttime(suchasl100。C，twohours)arefoundowninglessstressandgoodflexiblity；furthermoredu
5、ringtargetsbeingsinteredthevolatilizationofleadcanbereducedwhiletherateofsputteringincreaseBecauseofthelowmeltingpointandhighvolatilizationofPbO，itisdifficultytoproducePSTferroelectricthinfilmshavingelectrichysteresisbya
6、ddingaexcessof5wt％andlOwt％ofPbOintargetsOnlybyaddingaexcessof20wt％ofPbOCallthePSTferroelectricthinfilmbeproduced一ItwasalsofoundthattheatmosphereofPbOworkedagreatdealontheconductivityoftheITOelectrodeAfterheattreatmentint
7、heatmosphereofPbO，theconductixityisreducedgreatlySotheLSCOdepositedontheITOfilmbeforesputteringPSThasbeenappliedbothastheprotectionlayerandaselectrodefilmBysputteringthetargetwhichconsistingof(Pbo27Sro73)Ti03addingaexces
8、sof20wt％PbOthesampleofthinfilmwithaclearCurietemperatureof1℃wasacquiredonthesiliconsubstrateBystudyingandanalysisingthePSTferroelectricthinfilmonsiliconsubstratesafterheatingtreatmentunder550。Ctemperaturefordifferenttime
9、，itwasfoundthatthePSTfilmwithlongertimeheattreamenthadmorehi曲diffractionpeakinXrayspectrumBystudyingPSTsurfacemicrographsofAFM，itwasthefactthatlongtimeheatedtreatmentresulttolargercrystalBeingundergoneheattreatmentof8hou
10、rs，allsample’Scrystalhasbeenamalgamatedandcouldnotbedistinguished，butsomeholesappearsonthePSTfilmIntheexperimentsthedielectricfrequencyspectrum，thedielectrictemperaturespectrum，theferroelectrichysteresisandswitchcurrents
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