聚合物波導(dǎo)型光衰減器的研究.pdf

1、本文首先介紹了集成光波導(dǎo)器件產(chǎn)生，發(fā)展和器件材料工藝的進展。其次介紹了目前光衰減器的各種實現(xiàn)方法的原理，主要介紹了位移型，光衰減片型，液晶型，微機電系統(tǒng)型以及熱光波導(dǎo)型的衰減器，并對熱光波導(dǎo)型光衰減器的工作原理——熱光效應(yīng)和熱傳導(dǎo)做了較為全面的理論介紹分析。接著介紹了用于模擬計算的有限差分光束傳播法FD－BPM方法的基本原理及算法的穩(wěn)定性分析，及求解的透明邊界條件，同時介紹了將三維結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為二維結(jié)構(gòu)的有效折射率法，并且用這些方法模擬

2、了Y分支的特性。然后詳細的介紹了一種非對稱的Y分支型光衰減器的設(shè)計優(yōu)化過程。先根據(jù)前文介紹的熱傳導(dǎo)理論模擬了用于可調(diào)衰減器的電極的熱場分布，設(shè)計了電極的最優(yōu)位置，然后利用馬卡蒂里近似解法求解掩埋條形波導(dǎo)的單模條件，并計算了波導(dǎo)的寬度和厚度，設(shè)計了非對稱Y分支型的光衰減器的Y分支結(jié)構(gòu)，電極參數(shù)，完成整個設(shè)計過程，最后，模擬了光衰減器的偏振相關(guān)性和波長相關(guān)性，從而也得到了一個聚合物可調(diào)光衰減器的設(shè)計優(yōu)化方法。最后，考慮了旋涂法成膜及光刻