基于微流控技術(shù)的新型光衰減器設(shè)計(jì).pdf

1、全光網(wǎng)絡(luò)能夠充分利用光纖所具有的的巨大能量，必將成為組建下一代信息網(wǎng)絡(luò)的核心技術(shù)?？烧{(diào)光衰減器(Variable Optical Attenuator，VOA)能夠解決全光網(wǎng)絡(luò)各波長(zhǎng)通道間功率不均衡的關(guān)鍵問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)增益平坦、動(dòng)態(tài)增益平衡及傳輸功率均衡。目前常見(jiàn)的可調(diào)光衰減器主要有機(jī)械型、陣列波導(dǎo)型、液晶型和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）型等，但都有自身的缺陷。所以迫切需要開(kāi)發(fā)新型可調(diào)光衰減器。
　　本文提出了一類(lèi)基于微流控光學(xué)技術(shù)的新型可

2、調(diào)光衰減器，將液體作為器件控制元素，通過(guò)壓力驅(qū)動(dòng)方式控制微流道中氣/液界面位置，從而實(shí)現(xiàn)光能量的可控衰減，具有衰減范圍大、響應(yīng)速度快、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可控性強(qiáng)、成本低、易于制作等優(yōu)點(diǎn)。
　　本文首先基于微流控技術(shù)，設(shè)計(jì)了兩種不同驅(qū)動(dòng)方式的可調(diào)光衰減器（已申請(qǐng)專(zhuān)利）：電磁驅(qū)動(dòng)式光衰減器和壓力驅(qū)動(dòng)式光衰減器，并對(duì)所設(shè)計(jì)器件的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、工作原理以及制作工藝進(jìn)行了詳細(xì)闡述。然后利用Fluent軟件對(duì)衰減器內(nèi)部流場(chǎng)進(jìn)行了仿真，分別對(duì)微流道內(nèi)氣/液