熱膨脹驅(qū)動微閥的設(shè)計(jì)與制備.pdf

1、上個(gè)世紀(jì)90年代初，在分析化學(xué)領(lǐng)域提出了微全分析系統(tǒng)（miniaturized total analysis system，即μ-TAS）概念，而集成在微流控芯片上的微閥是實(shí)現(xiàn)流體分析控制的前提，但目前微閥工藝制備與微型化均存在一定的問題。
　　本文概述了近幾年μ-TAS領(lǐng)域不同類型微閥的研究成果，總結(jié)了熱膨脹驅(qū)動類型微閥的結(jié)構(gòu)、材料以及相關(guān)制備工藝，利用IntelliStuite軟件對熱膨脹驅(qū)動微閥的閥腔、PDMS可動薄膜、Cu

2、微加熱器進(jìn)行仿真設(shè)計(jì)，確定了熱膨脹微閥的結(jié)構(gòu)參數(shù)。在軟件仿真的基礎(chǔ)上，利用MEMS工藝制備出了一款滿足設(shè)計(jì)要求的熱膨脹驅(qū)動微閥。
　　文中對熱膨脹驅(qū)動微閥的制備工藝進(jìn)行了詳細(xì)論述，其中討論了制備Cu微加熱器PVD金屬淀積工藝，減少了加熱器表面孔洞，保證了微閥電熱轉(zhuǎn)換效率；優(yōu)化了SU-8膠的成型工藝，制備出了邊緣陡直的SU-8模具，并通過全氟四氫辛基硅烷和SF6改善了脫模工藝；解決了PDMS澆鑄成型以及氧等離子體鍵合工藝難題，最終完