版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、該文研究開發(fā)了幾種新型的微機(jī)電系統(tǒng)光開關(guān),成功解決了微驅(qū)動器研制、光開關(guān)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和光路調(diào)整等問題.所開發(fā)的光開關(guān)具有插入損耗低、體積小等優(yōu)異性能,并已通過上海市科委組織的成果鑒定,受到了鑒定專家的好評.設(shè)計(jì)制造了一種新型MEMS擺動式微電磁驅(qū)動器,該驅(qū)動器采用雙定子單擺盤和多線圈多磁極的軸向磁通結(jié)構(gòu),具有較大的輸出力矩.微驅(qū)動器采用了微細(xì)加工、精密制造及精密裝配相結(jié)合的制造工藝.定子采用鐵氧體導(dǎo)磁材料基板,保證了磁路閉合.利用一套以
2、掩模工藝為主,配上深層光刻、濺射和干法刻蝕為輔的非硅材料微細(xì)加工工藝,確保了字子的加工質(zhì)量.擺盤采用硅鋼處膠合釤鈷永磁材料結(jié)構(gòu),并對其進(jìn)行飽和充磁來提高輸出力矩.利用微電磁驅(qū)動器作為驅(qū)動源,設(shè)計(jì)制造了1×2、2×2、1×4、和1×8四種典型的光開關(guān).用高斯光束傳輸理論和矩陣光學(xué)說明了光纖通過自聚焦透鏡耦合時位置誤差對耦合損耗的影響.對光開關(guān)的插入損耗、回波損耗、消光比和重復(fù)性等光學(xué)性能參數(shù)進(jìn)行了測量.測試結(jié)果表明,所研制的光開關(guān)具有優(yōu)良
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于MEMS技術(shù)新型壓電微驅(qū)動器的研制.pdf
- 新型MEMS雙穩(wěn)態(tài)微電磁驅(qū)動器的研究.pdf
- 用于消除RF MEMS開關(guān)介質(zhì)充電的新型微驅(qū)動結(jié)構(gòu).pdf
- 扭臂式靜電驅(qū)動MEMS光開關(guān)研究.pdf
- 基于MEMS的微驅(qū)動器研制及其特性研究.pdf
- MEMS光開關(guān)的研究.pdf
- mems光開關(guān)綜述
- 基于雙穩(wěn)態(tài)的MEMS微開關(guān)設(shè)計(jì).pdf
- 應(yīng)用于全光網(wǎng)的微電磁驅(qū)動MEMS可變光衰減器的研究.pdf
- 磁致雙穩(wěn)態(tài)MEMS電磁微繼電器的研制.pdf
- 基于電熱驅(qū)動的MEMS繼電器的研制.pdf
- 基于MEMS技術(shù)的壓電微噴的研制.pdf
- 基于微流控技術(shù)的陣列光開關(guān)的波導(dǎo)層的研制.pdf
- MEMS光開關(guān)的建模與仿真.pdf
- 基于光導(dǎo)開關(guān)的瞬態(tài)電磁脈沖系統(tǒng).pdf
- 基于MEMS技術(shù)的自吸微泵的研制.pdf
- 微流控陣列光開關(guān)中微流體驅(qū)動方法的研究.pdf
- 基于MEMS器件的可變光衰減器的研制.pdf
- 橫向熱驅(qū)動RF MEMS開關(guān)研究.pdf
- 新型MEMS光學(xué)開關(guān)的設(shè)計(jì)與分析.pdf
評論
0/150
提交評論