應(yīng)用于全光網(wǎng)的微電磁驅(qū)動(dòng)MEMS可變光衰減器的研究.pdf

1、全光網(wǎng)是適應(yīng)中國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)信息化對(duì)未來通信網(wǎng)絡(luò)的帶寬容量需求的最佳方案.全光網(wǎng)的功率均衡是亟待解決的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),其中大量采用了可變式光衰減器(Variable Optical Attenuator,以下簡(jiǎn)稱VOA).針對(duì)上述需求、該文研究基于微細(xì)加工工藝、主要是集成電路工藝制作的可實(shí)現(xiàn)陣列拼接的MEMS(Micro-electro-mechanical-systems,微電子機(jī)械系統(tǒng))可變光衰減器.該文首先簡(jiǎn)要介紹了應(yīng)用于全光網(wǎng)的MEM

2、S技術(shù)的研究現(xiàn)狀.該文研究了現(xiàn)有的擋光片式光衰減器內(nèi)部的衍射光學(xué)傳播過程,基于對(duì)輸入輸出單模光纖內(nèi)部傳輸基模的高斯近似,以及高斯光束的自由空間傳播,擋光片上的Fresnel-Kirchoff衍射積分,以及輸出光纖端面的衍射光束場(chǎng)分布和輸出光纖內(nèi)部的基模的交疊積分,建立了上述傳播過程的理論計(jì)算模型,得到了與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)基本一致的結(jié)果.該文還進(jìn)行了一種新型電磁驅(qū)動(dòng)錯(cuò)位式微機(jī)械可變光衰減器的研究,首先介紹了器件的基本結(jié)構(gòu)和工作原理;其次對(duì)器件的結(jié)