大功率980nm半導(dǎo)體激光器可靠性研究.pdf

1、隨著半導(dǎo)體激光器廣泛應(yīng)用于光纖通信、激光唱盤、信息存儲、醫(yī)療、泵浦固體激光器等領(lǐng)域，其可靠性問題已成為當(dāng)前的熱點(diǎn)研究課題。如何延長半導(dǎo)體激光器的使用壽命，提高半導(dǎo)體激光器的可靠性，增大半導(dǎo)體激光器的輸出功率一直是人們在半導(dǎo)體激光器研究中不懈的努力和追求的目標(biāo)。 本文的工作圍繞實(shí)驗(yàn)室自制的有鋁980nm InGaAs/GaAs/AlGaAs和無鋁980nm InGaAs/InGaAsP/InGaP980nm激光器的可靠性展開。本論

2、文的研究工作主要集中在以下幾個方面： 1.制作了980nm脊形波導(dǎo)大功率半導(dǎo)體激光器，詳細(xì)介紹了制作工藝及各個工藝步驟的注意事項(xiàng)，介紹了半導(dǎo)體激光器的P-I特性和伏安特性，并詳細(xì)分析了溫度對半導(dǎo)體激光器光電參數(shù)包括輸出光功率、閾值電流、微分量子效率的影響。 2.測試分析了自制有鋁980nmnGaAs/GaAs/AlGaAs和無鋁980nmInGaAs/InGaAsP/InGaP激光器室溫下的光電特性，對其進(jìn)行了30～70

3、℃變溫測試，給出了激光器各項(xiàng)性能參數(shù)與溫度的對應(yīng)曲線關(guān)系，并將兩種器件的溫度特性進(jìn)行了對比分析。 3.結(jié)合加速壽命試驗(yàn)的基礎(chǔ)理論，在50℃、1000mA條件下，對無鋁980nm半導(dǎo)體激光器和有鋁980nm半導(dǎo)體激光器進(jìn)行了加速壽命試驗(yàn)，提取了兩種激光器失效器件老化過程中的其中100個時間點(diǎn)的光電參數(shù)，得到了歸一化的輸出光功率、閾值電流、電壓、串聯(lián)電阻、斜率效率隨老化時間的變化曲線，并進(jìn)行了對比分析。 4.分析了大功率半導(dǎo)