MgO-TiO2系微波介質(zhì)材料的研究與應用.pdf_第1頁
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1、MgOTiO2系微波系微波介質(zhì)介質(zhì)材料的材料的研究與應用研究與應用TheinvestigationapplicationfmicrowavedielectricmaterialofMgOTiO2學科專業(yè)：微電子與固體電子學研究生：張明名指導教師：李玲霞教授天津大學電子信息工程學院二零一二年十二月摘要微波介質(zhì)材料在現(xiàn)代微波技術中的作用越來越重要。本文以微波介質(zhì)材料MgTiO3和Mg1.8Ti1.1O4為研究對象，探討微觀結構與介電性能之間

2、聯(lián)系，建立材料組成、晶體結構、化學鍵性質(zhì)與介電性能間關系。選擇頻率溫度系數(shù)補償材料，實現(xiàn)近零頻率溫度系數(shù)介質(zhì)基板，介質(zhì)諧振器的制作。利用ADS軟件設計微帶濾波器并完成實物制作。1.MgTiO3體系改性研究：利用傳統(tǒng)固相法，選擇ZnO、CoO、NiO、MnO氧化物進行二價離子置換，制備(Mg1xMx)TiO3(M=NiZnCoMn)微波介質(zhì)陶瓷；系統(tǒng)研究二價離子對MgTiO3晶體結構、化學鍵性質(zhì)及微波介電性能的影響；采用Rietveld方

3、法對樣品進行晶體結構精修，得到MgTiO3的全譜擬合圖。利用晶胞參數(shù)、密堆積密度、化學鍵等建立理論模型，探索晶體結構與介電性能之間關系；選擇頻率溫度系數(shù)補償材料，探索工藝，實現(xiàn)近零頻率溫度系數(shù)微波介質(zhì)基板的制作；2.Mg1.8Ti1.1O4體系改性研究：探索燒結助劑，選擇ZnO為添加劑，研究其降低燒結溫度機理，探索其對微波介電性能的改善作用；選擇頻率溫度系數(shù)補償材料，經(jīng)過固相材料工藝，完成近零頻率溫度系數(shù)微波介質(zhì)諧振器制作；3.微帶濾波

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