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文檔簡介
1、 本文選擇目前國內外研究最多的納米硅/硅氧化物系統(tǒng)中光發(fā)射作為研究對象，采用射頻磁控濺射的方法生長富硅的二氧化硅薄膜，經過高溫退火自組裝生長納米硅顆粒，并對其發(fā)光和光學性質進行研究?！ 〉谝徊糠郑汉喴榻B研究硅基薄膜發(fā)光的意義，并介紹實現硅基發(fā)光的有效途徑和多空硅和納米硅器件，以及國內外的研究進展?！ 〉诙糠郑簩嶒炇褂玫南到y(tǒng)和對薄膜生長的熱力學原理進行簡單分析。著重介紹采用射頻磁控濺射的方法生長薄膜的實驗過程以及實驗的基本
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