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文檔簡介
1、本課題采用直流反應(yīng)磁控濺射的方法，分別在鍍有透明導(dǎo)電ITO薄膜的玻璃和石英襯底上制備了TiO2薄膜，通過XRD、Raman光譜、AFM、SEM、紫外-可見分光光度計(jì)分別對樣品的結(jié)構(gòu)、形貌、光學(xué)性質(zhì)等進(jìn)行了測試，研究了制備條件，如襯底溫度、濺射氣壓、氧氬比、退火溫度等對薄膜結(jié)構(gòu)、形貌和光學(xué)性能的影響，對TiO2薄膜的紫外光響應(yīng)進(jìn)行了初步的探索，以期待TiO2成為一種新的紫外光探測器材料。以黑光燈為光源，采用ITO/TiO2/ITO和C/T
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