超薄304不銹鋼片Roll-to-Roll化學機械拋光液研究.pdf

1、隨著時代的進步、科學技術的發(fā)展，柔性顯示器（FOLED）因其更輕薄、更耐沖擊和可彎曲性等優(yōu)越性越來越受到重視，柔性顯示基板作為柔性顯示器研發(fā)的基礎，也同樣備受關注。相比玻璃、聚合物、石墨烯材料，金屬材料因其低熱膨脹系數(shù)、水氧隔離性能優(yōu)越、原材料獲取方便且價格低廉被認為是柔性顯示襯底材料的首選。304不銹鋼因其超薄、質量輕、耐用、儲存量大、設計自由、可撓曲、可收卷和耐沖擊等性能或將成為柔性顯示器的主要襯底材料。
　　為了實現(xiàn)柔性顯示

2、襯底超薄、大尺寸，并與后續(xù)器件制程實現(xiàn)無縫對接，最好的方法是采用Roll-to-Roll連續(xù)超精密加工，化學機械拋光技術被認為是能兼顧表面粗糙度和表面平整度要求的最好的工藝方法。
　　研究主要在拋光液配方、拋光化學作用機理和拋光工藝參數(shù)三個方面：
　　研究配制初始拋光液，通過單因素試驗分析方法，了解拋光液中磨料、氧化劑、pH調節(jié)劑和分散劑種類、濃度變化對拋光效果的影響，再通過正交試驗和 SAS方差分析得到雙氧水-草酸型拋光液

3、：2.8wt％w3.5白剛玉、1.9wt％六偏磷酸鈉、1.5wt％草酸、5.6wt％雙氧水、0.04wt％十六烷基硫酸鈉；三氯化鐵-草酸型拋光液3.8wt％w0.5白剛玉、1.8wt％丙三醇、1.4wt％草酸、5.4wt％三氯化鐵、0.2 wt％壬基酚氧乙烯醚。并制定了粗拋、半精拋方案。考慮兩種單一氧化劑拋光液的優(yōu)勢和存在的問題，將兩種氧化劑混合并對304不銹鋼進行拋光效果測試，可以得出通過調節(jié)雙氧水和三氯化鐵濃度來調整拋光速率以及表面

4、質量。利用正交試驗和方差分析得到雙氧水-三氯化鐵型拋光液配方：2.8wt％w0.5白剛玉、1.8wt％丙三醇、5.6wt％三氯化鐵、1.8wt％草酸、0.6wt％壬基酚氧乙烯醚、3.6wt％雙氧水。并制定了粗拋、半精拋、精拋方案。
　　研究拋光液部分主要組分拋光中起到的化學作用機理進行試驗分析。證明了拋光過程中2Fe3++Fe→3Fe2+反應和Fenton反應2Fe2++H2O2+2H+→2Fe3++2H2O的存在，且反應中形成的

5、鐵離子能夠發(fā)生水合作用形成絡合物[Fe（H2O）6]3+，它在不斷的與水反應形成更復雜的鐵的絡合物質，這些絡合物可以附著在304不銹鋼表面，填充凹陷，阻止低洼處進一步腐蝕，提高表面質量。運用XRD技術證明雙氧水-三氯化鐵型拋光液拋光304不銹鋼不會改變其原本基體的物相，證明了使用該拋光液拋光后的304不銹鋼不會失去其應有的性能。
　　研究了拋光工藝參數(shù)對304不銹鋼拋光速率及表面質量的影響，制定出合適的拋光工藝參數(shù)。提高拋光盤轉速