超薄304不銹鋼片Roll-to-Roll化學(xué)機(jī)械拋光液研究.pdf

1、隨著時(shí)代的進(jìn)步、科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，柔性顯示器（FOLED）因其更輕薄、更耐沖擊和可彎曲性等優(yōu)越性越來越受到重視，柔性顯示基板作為柔性顯示器研發(fā)的基礎(chǔ)，也同樣備受關(guān)注。相比玻璃、聚合物、石墨烯材料，金屬材料因其低熱膨脹系數(shù)、水氧隔離性能優(yōu)越、原材料獲取方便且價(jià)格低廉被認(rèn)為是柔性顯示襯底材料的首選。304不銹鋼因其超薄、質(zhì)量輕、耐用、儲存量大、設(shè)計(jì)自由、可撓曲、可收卷和耐沖擊等性能或?qū)⒊蔀槿嵝燥@示器的主要襯底材料。
　　為了實(shí)現(xiàn)柔性顯示

2、襯底超薄、大尺寸，并與后續(xù)器件制程實(shí)現(xiàn)無縫對接，最好的方法是采用Roll-to-Roll連續(xù)超精密加工，化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)被認(rèn)為是能兼顧表面粗糙度和表面平整度要求的最好的工藝方法。
　　研究主要在拋光液配方、拋光化學(xué)作用機(jī)理和拋光工藝參數(shù)三個(gè)方面：
　　研究配制初始拋光液，通過單因素試驗(yàn)分析方法，了解拋光液中磨料、氧化劑、pH調(diào)節(jié)劑和分散劑種類、濃度變化對拋光效果的影響，再通過正交試驗(yàn)和 SAS方差分析得到雙氧水-草酸型拋光液

3、：2.8wt％w3.5白剛玉、1.9wt％六偏磷酸鈉、1.5wt％草酸、5.6wt％雙氧水、0.04wt％十六烷基硫酸鈉；三氯化鐵-草酸型拋光液3.8wt％w0.5白剛玉、1.8wt％丙三醇、1.4wt％草酸、5.4wt％三氯化鐵、0.2 wt％壬基酚氧乙烯醚。并制定了粗拋、半精拋方案?？紤]兩種單一氧化劑拋光液的優(yōu)勢和存在的問題，將兩種氧化劑混合并對304不銹鋼進(jìn)行拋光效果測試，可以得出通過調(diào)節(jié)雙氧水和三氯化鐵濃度來調(diào)整拋光速率以及表面

4、質(zhì)量。利用正交試驗(yàn)和方差分析得到雙氧水-三氯化鐵型拋光液配方：2.8wt％w0.5白剛玉、1.8wt％丙三醇、5.6wt％三氯化鐵、1.8wt％草酸、0.6wt％壬基酚氧乙烯醚、3.6wt％雙氧水。并制定了粗拋、半精拋、精拋方案。
　　研究拋光液部分主要組分拋光中起到的化學(xué)作用機(jī)理進(jìn)行試驗(yàn)分析。證明了拋光過程中2Fe3++Fe→3Fe2+反應(yīng)和Fenton反應(yīng)2Fe2++H2O2+2H+→2Fe3++2H2O的存在，且反應(yīng)中形成的

5、鐵離子能夠發(fā)生水合作用形成絡(luò)合物[Fe（H2O）6]3+，它在不斷的與水反應(yīng)形成更復(fù)雜的鐵的絡(luò)合物質(zhì)，這些絡(luò)合物可以附著在304不銹鋼表面，填充凹陷，阻止低洼處進(jìn)一步腐蝕，提高表面質(zhì)量。運(yùn)用XRD技術(shù)證明雙氧水-三氯化鐵型拋光液拋光304不銹鋼不會改變其原本基體的物相，證明了使用該拋光液拋光后的304不銹鋼不會失去其應(yīng)有的性能。
　　研究了拋光工藝參數(shù)對304不銹鋼拋光速率及表面質(zhì)量的影響，制定出合適的拋光工藝參數(shù)。提高拋光盤轉(zhuǎn)速