PLD法Nd-LuVO-,4-、Nd-GdVO-,4-光波導(dǎo)薄膜的制備及其性質(zhì)研究.pdf

1、全固態(tài)激光器在科學(xué)研究、工業(yè)、醫(yī)學(xué)、軍事等許多方面有著十分重要的應(yīng)用。激光晶體是全固體激光器的重要組成部分，與激光玻璃相比，它具有較低的振蕩閾值，較容易實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。激光晶體波導(dǎo)膜是一個(gè)嶄新的研究領(lǐng)域，探索性能優(yōu)異的激光晶體波導(dǎo)膜正成為研究熱點(diǎn)之一?！　”疚难芯苛薔d：LuVO4和Nd：GdVO4光波導(dǎo)薄膜的生長(zhǎng)結(jié)晶狀況、表面形貌、薄膜中的主要元素的比例以及發(fā)射光強(qiáng)度與有效折射率的關(guān)系，并對(duì)薄膜的光波導(dǎo)性能做了初步的探索。主要內(nèi)容包括

2、以下幾方面： 1.薄膜的生長(zhǎng)。采用脈沖激光沉積法生長(zhǎng)Nd：LuVO4和Nd：GdVO4光波導(dǎo)薄膜，研究在不同襯底、不同氣氛、不同襯底溫度、不同氧氣壓強(qiáng)下對(duì)生長(zhǎng)的薄膜的質(zhì)量的影響。找出適宜薄膜生長(zhǎng)的氣氛、襯底溫度、氧氣壓強(qiáng)等條件。 2.結(jié)晶狀態(tài)的研究。利用X射線衍射法對(duì)不同氣氛、不同襯底溫度、不同氧氣壓強(qiáng)下生長(zhǎng)的薄膜的生長(zhǎng)狀態(tài)進(jìn)行了分析，對(duì)薄膜的結(jié)晶狀況、易于生長(zhǎng)的方向進(jìn)行了觀察。對(duì)薄膜適宜生長(zhǎng)的條件做了進(jìn)一步驗(yàn)證和分析。

3、 3.表面形貌的觀察。利用原子力顯微鏡對(duì)生長(zhǎng)的薄膜的表面形貌進(jìn)行了分析，發(fā)現(xiàn)表面較為光滑、均勻、無(wú)較大的顆粒物。可以用來(lái)作為光波導(dǎo)薄膜。 4.背散射分析。根據(jù)背散射圖譜對(duì)生長(zhǎng)的薄膜中的主要元素的比例做了估算，發(fā)現(xiàn)薄膜的成分與靶材的成分基本一致，證明了脈沖激光沉積法生長(zhǎng)薄膜的主要優(yōu)勢(shì)，并為今后制備要求組分薄膜的設(shè)計(jì)提供了依據(jù)。 5.效折射率的測(cè)量。采用棱鏡耦合法測(cè)量了可能形成的波導(dǎo)模及該模所對(duì)應(yīng)的有效折射率。并對(duì)薄