脈沖激光沉積制備ZnO薄膜及發(fā)光特性研究.pdf

1、場(chǎng)發(fā)射平板顯示器件以其高亮度、體積小、低功耗、高視覺性能等優(yōu)點(diǎn)深受眾多研究者的青瞇，要制造出高質(zhì)量的場(chǎng)發(fā)射平板顯示器件，不僅需要高性能的陰極，還需要與之相匹配的陽極熒光層以及較高的器件封裝技術(shù)。由于場(chǎng)發(fā)射平板顯示工作條件的改變，傳統(tǒng)的涂敷式熒光屏已經(jīng)不能滿足它的要求?！　”疚牟捎蒙漕l輔助脈沖激光沉積(PLD)系統(tǒng)，在鍍有透明導(dǎo)電膜氧化錫銦(ITO)的玻璃襯底上制備了氧化鋅薄膜。介紹了該沉積系統(tǒng)的原理、組成和操作過程。實(shí)驗(yàn)采用在不同的襯

2、底溫度、不同氧氬比的反應(yīng)氣氛，以及退火處理和射頻輔助的方法來優(yōu)化薄膜的性能。通過XED、SEM、AFM、PL和EL來對(duì)樣品的結(jié)構(gòu)、形貌、發(fā)光特性進(jìn)行了測(cè)試，并對(duì)其結(jié)果進(jìn)行了分析。研究了ZnO薄膜的結(jié)晶狀況、成分、缺陷等因素與發(fā)光特性之間的關(guān)系。實(shí)驗(yàn)表明，高結(jié)晶質(zhì)量和一致的C軸取向性是影響ZnO薄膜發(fā)光光譜的重要因素。隨著襯底溫度的升高、反應(yīng)氣氛中氬氣含量的增加和退火處理，ZnO薄膜的結(jié)晶狀況明顯好轉(zhuǎn)，(002)衍射峰的強(qiáng)度相對(duì)增強(qiáng)，且發(fā)