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文檔簡介
1、ZnO作為一種新型的寬帶隙半導(dǎo)體材料,在近年來受到越來越大的關(guān)注。ZnO具有良好的物理性質(zhì):直接帶隙能帶結(jié)構(gòu)、室溫禁帶寬度3.37eV、激子束縛能60meV,具備了常溫下高效發(fā)射紫外光的必要條件。作為藍紫光發(fā)光二極管(LED)和紫外激光器(LD)有著廣闊的發(fā)展前景,在表面聲波器件、平面光波導(dǎo),透明電極,紫外光探測器、壓電器件、紫外發(fā)光器件、氣敏傳感器等領(lǐng)域有著很好的應(yīng)用。
氧化鋅薄膜的制備有很多方法,包括磁控濺射、脈沖激光
2、沉積(PLD)、金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)、分子束外延(MBE)、噴霧熱分解、溶膠-凝膠法(sol-gel)等等。MOCVD方法因其成膜質(zhì)量好,生長源量均勻可控,并能實現(xiàn)快速、大面積、多片同時生長,對ZnO薄膜的產(chǎn)業(yè)化有著重要的意義。
本文采用MOCVD方法制備出了Ga摻雜的ZnO透明導(dǎo)電薄膜,利用X射線衍射(XRD)、透射譜和霍爾效應(yīng)測試,系統(tǒng)研究了MOCVD系統(tǒng)中的實驗參數(shù)對ZnO:Ga的結(jié)構(gòu)、光學和電學性質(zhì)。
3、具體研究內(nèi)容如下:
(1)通過改變生長溫度,研究了生長溫度對ZnO:Ga薄膜結(jié)構(gòu)、透過率及電學性質(zhì)的影響。
(2)通過改變TMGa源流量,研究了Ga摻雜量對ZnO:Ga薄膜結(jié)構(gòu)、透過率及電學性質(zhì)的影響。
(3)研究了氧氣流量對ZnO:Ga薄膜結(jié)構(gòu)、透過率及電學性質(zhì)的影響。
通過三步實驗,在氧氣流量為325sccm、TMGa流量為0.5sccm、生長溫度為450℃時可以制備出了高透過
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