MEMS器件的加工方法及工藝特性研究.pdf

1、MEMS已經(jīng)被廣泛的用到了各個領域，越來越受到人們的重視。利用MEMS技術加工出來器件體積小、精度高、重量輕、壽命長、成本低。人們在不斷的發(fā)展和改進MEMS，對于微機電系統(tǒng)的實現(xiàn)，加工方法和工藝特性是其發(fā)展和改進的必要途徑。
　　本文主要任務是針對MEMS的一種萬向慣性開關給出其加工方法，并對其工藝特性進行研究。通過對MEMS基礎性的研究，了解MEMS技術設計與加工的基本要求，介紹了幾種不同的加工方法，并對其進行比較，總結出了各個

2、加工工藝特性。
　　通過加工方法的介紹，著重對所研究的萬向慣性開關進行工藝研究。通過結構設計以及參數(shù)化和功能化的仿真，利用有限元分析對開關的動態(tài)進行測試，確定該開關的結構可行性。結合加工單位工藝特點，設計了結構版圖和工藝流程，并對ICP刻蝕、光刻對準、薄膜沉積、靜電鍵合技術等關鍵工藝進行討論，并對加工出的傳感器裸片進行整體封裝。針對加工完成的MEMS器件通過靜態(tài)和動態(tài)兩種檢測對工藝特性進行驗證。靜態(tài)檢測通過顯微鏡對結構進行檢測，測