利用冷等離子體制備硅和硼納米顆粒.pdf

1、利用冷等離子體技術(shù)合成納米材料是目前納米材料合成領(lǐng)域的重要途徑。利用此法合成的納米顆粒具有尺寸分布窄、純度高、表面化學(xué)可控、化學(xué)組分可調(diào)等優(yōu)點(diǎn)。我們?cè)O(shè)計(jì)和組裝了一套新的冷等離子體系統(tǒng)，利用該系統(tǒng)，制備出了硼超級(jí)摻雜硅納米顆粒、磷超級(jí)摻雜硅納米顆粒和硼納米顆粒。
　　利用X射線光電子能譜(XPS)對(duì)硼、磷超級(jí)摻雜的硅納米顆粒的自然氧化性能進(jìn)行了研究，結(jié)果顯示:硼、磷的摻入對(duì)硅納米顆粒的氧化起促進(jìn)作用，且磷的作用更明顯;而在利用紫外-

2、可見(jiàn)(UV-VIS)吸收譜對(duì)超級(jí)摻雜的硅納米顆粒的堿刻蝕速率等進(jìn)行研究時(shí)，發(fā)現(xiàn)硼、磷的摻入對(duì)其刻蝕是起抑制作用的，且硼摻雜的硅納米顆粒具有更強(qiáng)的抗堿刻蝕性能。關(guān)于硼、磷原子在硅納米顆粒中的位置，除了在顆粒表面有大量分布外，仍然有相當(dāng)數(shù)量的硼、磷原子進(jìn)入到顆粒內(nèi)部，形成有效摻雜。此外，自然氧化對(duì)于雜質(zhì)原子在硅納米顆粒中的再分布有重要影響。
　　硼納米顆粒的燃燒效率與顆粒尺寸有很大關(guān)系，提高硼納米顆粒燃燒效率的途徑之一就是減小納米顆粒