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文檔簡介
1、太陽電池是一個(gè)朝陽產(chǎn)業(yè),也是現(xiàn)在發(fā)展正非?;馃岬囊粋€(gè)行業(yè)。非晶硅、微晶硅薄膜太陽電池在硅系太陽電池中具有很大的性價(jià)比優(yōu)勢。本文使用磁控濺射法沉積硅薄膜,通過優(yōu)化薄膜沉積的工藝參數(shù),以期為用濺射法最終制備出高質(zhì)量的器件級硅薄膜提供科學(xué)數(shù)據(jù)。磁控濺射法是一種簡單、低溫、快速的成膜技術(shù),能夠不使用有毒氣體和可燃性氣體進(jìn)行摻雜和成膜,直接用摻雜靶材濺射沉積,此法節(jié)能、高效、環(huán)保。可通過對氫含量和材料結(jié)構(gòu)的控制實(shí)現(xiàn)硅薄膜帶隙和性能的調(diào)節(jié)。與其它技
2、術(shù)相比,磁控濺射法最大的優(yōu)勢是它的沉積速率快,具有誘人的成膜效率和經(jīng)濟(jì)效益,該技術(shù)有望大幅降低太陽電池成本。 本文在玻璃襯底上沉積硅薄膜,研究濺射工藝參數(shù)對薄膜的光學(xué)性能和結(jié)構(gòu)組分的影響。本論文的主要研究內(nèi)容和結(jié)論可總結(jié)如下: 1、隨著濺射氫氣分壓增加,硅薄膜光學(xué)帶隙(Eg)增大,折射率減小,吸收系數(shù)和消光系數(shù)減小,薄膜的有序度逐漸減小。硅薄膜的沉積速率隨氫分壓的增加先增大后減小,在低濺射功率、高氫稀釋比條件下,沉積速率
3、超過10nm/min。 2、沉積溫度升高,Eg逐漸減小并趨于平穩(wěn),折射率變大,吸收系數(shù)和消光系數(shù)增大,薄膜有序度增加。基片溫度的變化對薄膜沉積速率的影響很小。 3、隨著濺射電流的增大,薄膜的截止邊逐漸紅移。沉積電流增加,Eg減小,薄膜的折射率逐漸增大,吸收系數(shù)也增大。但對0.14A電流沉積樣品的Eg、折射率和吸收系數(shù)都偏離這一趨勢。低功率下沉積薄膜的有序度高。沉積速率隨濺射功率的增大而單調(diào)增大,在較大沉積功率下,沉積速率
4、可達(dá)30nm/min。 4、薄膜的折射率、吸收系數(shù)和消光系數(shù)均隨波長的增加而減小。拉曼光譜測試結(jié)果表明,所沉積薄膜中沒有生成晶粒。在400nm波長處,改變沉積參數(shù),薄膜吸收系數(shù)在104cm-1到105cm-1數(shù)量級之間變化,消光系數(shù)在0.3附近。 5、沉積的薄膜樣品經(jīng)長期放置以后,薄膜的有序度降低很多。紅外光譜分析表明薄膜中存在SiH,SiH2或(SiH2)n鍵以及Si—O鍵;增加沉積時(shí)的氫氣分壓,氫在薄膜中的存在狀態(tài)穩(wěn)
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