摻雜鈦酸鍶鋇薄膜的制備與電性能的研究.pdf

1、本文以Ba(Ac)2、Sr(Ac)2·1/2H2O和Ti(OC4H9)4為主要前驅(qū)化合物，研究了sol-gel技術(shù)制備薄膜的工藝參數(shù)、結(jié)構(gòu)與性能的關(guān)系。冰醋酸、無(wú)水乙醇作為溶劑，其用量分別為10～20ml，丙三醇和乙酰丙酮0.5～2ml分別作為表面活性劑和螯合劑時(shí)，制得溶膠的PH值為3～4，粘度為3cp～6cp，濃度為0.3～0.4mol/L。當(dāng)均膠速率為3500r/min，時(shí)間為30s時(shí)，均膠三層的薄膜厚度為450nm。當(dāng)升/降溫速率

2、為0.5～1℃/min，保溫時(shí)間為1小時(shí)，薄膜表面顆粒分布均勻，無(wú)裂紋。Pt/Ti02/Si02/Si(100)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定了Pt電極，避免了電極的剝落。乙酰丙酮是較理想的螯合劑，它能使鈣鈦礦的形成溫度降低到624℃，其機(jī)理為溶膠中的乙酰丙酮由酮式向烯醇式異構(gòu)體的轉(zhuǎn)變，容易地與Ti(COC4H9)4螯合形成網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，而B(niǎo)a2+、Sr2+等離子能均勻的分布在此網(wǎng)絡(luò)中，熱分解時(shí)金屬離子能夠均勻地分布，避免了某些陽(yáng)離子的富集，利于晶相的形成，晶粒