雙光子加工微細器件的光學驅動研究.pdf

1、　　 本文利用聚焦激光束可以實現(xiàn)對微型機械器件的光學捕獲和操縱，為微型機電系統(tǒng)提供了一種新型的驅動方式，該技術具有無機械接觸、無需導線、摩擦小等優(yōu)點，在MEMS研究領域受到越來越廣泛的重視。本文結合國家自然科學基金重點項目(No.50335050)的主要研究內容，研制了光學驅動實驗系統(tǒng)，利用雙光子聚合工藝加工出微型轉子，并主要對轉子的結構設計和加工、光學驅動實驗和微型轉子的光學驅動力矩的理論建模和計算等問題進行了研究。本文的主要成果

2、如下：首先，自行組建了單光束光阱激光光學驅動系統(tǒng)，并和飛秒激光三維微加工系統(tǒng)進行集成，實驗表明系統(tǒng)工作良好?！　?其次，利用已建立的激光三維微加工系統(tǒng)，采用一種新型的丙烯酸酯紫外光固化樹脂，制作出了適合光學驅動的微型轉子。對加工參數(shù)和驅動參數(shù)以及轉子的結構設計等問題進行了實驗研究，并利用單光束光阱取得了微型轉子的光驅動初步實驗結果。　　　　 最后，對三維光學微驅動的技術發(fā)展方向進行了探討，并對適合于光學驅動的微型