自動阻抗匹配器檢測電路設計及匹配算法研究.pdf

1、自動阻抗匹配器是射頻耦合等離子體設備系統(tǒng)中關鍵部件之一，衡量自動阻抗匹配器性能好壞的主要技術指標是其匹配速度和匹配精度。已有的研究工作表明，在僅檢測射頻電源入射功率和反射功率幅值的基礎上，增加兩者之間相位差信息的檢測，可以更快、更好地實現匹配功能，因此，開展與之相關的研究開發(fā)工作具有較好的實際應用價值。本研究主要體現在以下幾方面：
　　 ⑴提出了能實時給出反射系數幅值和相位信息的信號檢測方案。調研分析表明，僅僅利用反射系數檢測電

2、路檢測出的幅值信息進行阻抗的自動匹配，其匹配算法的復雜度較高，從而影響其匹配速度和效果，若增加相位信息，則可以大大地改善。
　　 ⑵針對已有的阻抗匹配器硬件系統(tǒng)，設計了兩種可以檢測反射系數幅值和相位的電路，一種是使用模擬乘法器直接下變頻檢測電路，另一種是使用高速模擬開關的正交檢波電路，具體進行了硬件電路的設計、制作與調試實驗。理論分析及實驗結果表明，正交檢波方案具有噪聲抑制能力強、線性度好、動態(tài)范圍寬等方面的優(yōu)點。此外，為控制模