自動阻抗匹配器檢測電路設(shè)計及匹配算法研究.pdf

1、自動阻抗匹配器是射頻耦合等離子體設(shè)備系統(tǒng)中關(guān)鍵部件之一，衡量自動阻抗匹配器性能好壞的主要技術(shù)指標(biāo)是其匹配速度和匹配精度。已有的研究工作表明，在僅檢測射頻電源入射功率和反射功率幅值的基礎(chǔ)上，增加兩者之間相位差信息的檢測，可以更快、更好地實現(xiàn)匹配功能，因此，開展與之相關(guān)的研究開發(fā)工作具有較好的實際應(yīng)用價值。本研究主要體現(xiàn)在以下幾方面：
　　 ⑴提出了能實時給出反射系數(shù)幅值和相位信息的信號檢測方案。調(diào)研分析表明，僅僅利用反射系數(shù)檢測電

2、路檢測出的幅值信息進行阻抗的自動匹配，其匹配算法的復(fù)雜度較高，從而影響其匹配速度和效果，若增加相位信息，則可以大大地改善。
　　 ⑵針對已有的阻抗匹配器硬件系統(tǒng)，設(shè)計了兩種可以檢測反射系數(shù)幅值和相位的電路，一種是使用模擬乘法器直接下變頻檢測電路，另一種是使用高速模擬開關(guān)的正交檢波電路，具體進行了硬件電路的設(shè)計、制作與調(diào)試實驗。理論分析及實驗結(jié)果表明，正交檢波方案具有噪聲抑制能力強、線性度好、動態(tài)范圍寬等方面的優(yōu)點。此外，為控制模