自穩(wěn)程雙光束探測(cè)干涉儀的設(shè)計(jì).pdf

1、為了研究壓電薄膜的特性,常常需要測(cè)量電場(chǎng)作用下薄膜厚度的變化.因?yàn)楸∧さ暮穸群苄?不能施加太高的電壓,過(guò)高的電壓會(huì)擊穿薄膜,所以一般在電壓驅(qū)動(dòng)下其厚度的變化處于A的量級(jí).為了檢測(cè)這么小的形變,必須使用干涉檢測(cè)的方法.Michelson干涉儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,最早被用來(lái)檢測(cè)壓電薄膜厚度的變化.但是由于這種方法只探測(cè)樣品的一個(gè)表面,無(wú)法消除測(cè)量中的基底彎曲效應(yīng).所以,設(shè)計(jì)了一種基于Mach-Zender結(jié)構(gòu)的雙光束探測(cè)干涉儀來(lái)研究壓電薄膜的壓電響應(yīng)

2、.這種方法中,探測(cè)激光探測(cè)樣品的兩個(gè)主面,可有效消除基底彎曲效應(yīng).為了補(bǔ)償光程差的低頻漂移,將工作點(diǎn)穩(wěn)定在靈敏度最高點(diǎn),使用一個(gè)反饋控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)微位移器調(diào)整參考平面鏡.使用鎖相放大器提供驅(qū)動(dòng)信號(hào),并同時(shí)檢測(cè)對(duì)應(yīng)于樣品形變的輸出信號(hào).計(jì)算機(jī)通過(guò)RS232接口與鎖相放大器通信,控制測(cè)量的全過(guò)程.開發(fā)了用于壓電材料的壓電系數(shù)測(cè)量和鐵電材料蝴蝶曲線測(cè)繪的軟件.所以,整個(gè)系統(tǒng)構(gòu)成一個(gè)自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng),其工作頻率范圍是1K~102KHz,最小可探測(cè)位移