Zygo干涉儀及其應(yīng)用的研究.pdf

1、干涉測(cè)量技術(shù)是以光波干涉原理為基礎(chǔ)進(jìn)行測(cè)試的一門(mén)技術(shù)?，F(xiàn)代干涉測(cè)量技術(shù)采用激光作光源并且綜合了光學(xué)和電子學(xué)的最新成就，具有量程大、分辨率高、抗干擾能力強(qiáng)、測(cè)量精度高等特點(diǎn)，另外隨著科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展，現(xiàn)代工業(yè)對(duì)測(cè)量要求越來(lái)越高，其他方法已難以勝任，因此在現(xiàn)代工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。 目前已經(jīng)有幾家致力于干涉儀產(chǎn)品的生產(chǎn)和研制的著名廠家，美國(guó)Zygo公司就是其中之一。本實(shí)驗(yàn)室的Zygo數(shù)字波面干涉儀是85年從Zygo公司購(gòu)進(jìn)的，屬Fi

2、seau型等厚干涉儀，可用于進(jìn)行各種形狀及各種復(fù)雜程度的實(shí)時(shí)干涉圖形和干涉圖片的快速測(cè)量。其關(guān)鍵部件包括MARKⅢ干涉儀，干涉條紋處理器和一個(gè)控制終端，并備有許多附件，來(lái)滿足不同測(cè)量需要。但因配套軟件缺乏、采集系統(tǒng)性能和處理功能落后，已無(wú)法滿足現(xiàn)在測(cè)量需要。本論文的主要目的是以此Zygo干涉儀為依托，設(shè)計(jì)以干涉條紋圖像為對(duì)象的圖像采集系統(tǒng)和圖像處理軟件，構(gòu)建一套現(xiàn)代干涉測(cè)量系統(tǒng)，以滿足當(dāng)前測(cè)量需要。本論文完成以下幾項(xiàng)工作：1)針對(duì)干涉圖

3、像，設(shè)計(jì)以CMOS圖像采集芯片為核心的高性能圖像采集系統(tǒng)，包括系統(tǒng)硬件和控制軟件。 2)以干涉原理為基礎(chǔ)、開(kāi)發(fā)一種新的干涉圖處理方法。 3)根據(jù)干涉圖像特點(diǎn)，設(shè)計(jì)干涉圖像處理軟件，完成對(duì)干涉條紋圖像的讀取、處理和交互式數(shù)據(jù)輸出。 4)擴(kuò)展干涉儀的用途，運(yùn)用現(xiàn)有的干涉測(cè)量系統(tǒng)，完成利用干涉法測(cè)量熱圓柱體表面溫度的研究。 工作創(chuàng)新性表現(xiàn)在：1)設(shè)計(jì)了基于EPP接口的圖像采集系統(tǒng)，并將其應(yīng)用于干涉測(cè)量系統(tǒng)中。