單頻激光干涉儀信號處理及其測量技術(shù)研究.pdf

1、激光由于其高方向性、高單色性和高相干性特點，使得其具有普通光源所無法替代的優(yōu)勢。干涉儀采用激光作為光源，使得其在測量上更加精確，范圍更為廣。隨著機械技術(shù)越來越要求在精密度上有提高，這就使得在測量的精度上要求越來越高，現(xiàn)階段要求達到微米或者更為精確程度，于是單頻激光干涉系統(tǒng)的高精度測量技術(shù)研究逐漸得以重視。
　　本文介紹了激光干涉儀發(fā)展現(xiàn)狀以及單頻激光干涉系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀，從波動方程和光的干涉方程來研究光的干涉原理，研究相關(guān)光的獲得，

2、分別從分波陣面法和分振幅法來進行討論研究，然后對激光干涉儀測長原理進行研究。對邁克爾遜等傾干涉條紋的產(chǎn)生進行分析，推導焦平面上任一組等傾干涉條紋能量分布情況，并研究焦平面上等傾干涉條紋的能量隨測量鏡位置的變化的規(guī)律。
　　論文對單頻激光干涉系統(tǒng)的高精度測量技術(shù)進行研究。研制了一種可調(diào)光程的激光測長儀，并提出了使用該激光測長儀對量塊在不同姿態(tài)下的長度變化量測量的方法。對測長儀的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進行了研究，并且研制了其附件，并對其技術(shù)創(chuàng)新點進