基于STATIONworks的12英寸晶圓廠設備自動化(EAP)系統(tǒng)的研究與實現(xiàn).pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩55頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、目前，半導體制造已經(jīng)逐步邁入12英寸（300mm）晶圓時代，晶圓廠更加依賴于自動化來提高產(chǎn)能，而制造執(zhí)行系統(tǒng)（Manufacturing Execution System：MES）如何與半導體設備進行整合，從而高效準確地控制設備，它們之間的橋梁-設備自動化（Equipment Automation Process：EAP）系統(tǒng)就顯得尤為重要了。
　　 目前國內(nèi)多數(shù)芯片制造廠仍為8英寸晶圓廠，只能算作半自動化。而12英寸晶圓廠的設

2、備自動化系統(tǒng)也存在一定問題。例如自動化組合設備的調(diào)度性能問題；設備自動化系統(tǒng)開發(fā)及升級周期長、維護困難等問題，這些都嚴重影響著半導體公司的市場競爭力。
　　 本論文正是基于此，對如何高效控制自動化組合設備以及如何縮短系統(tǒng)開發(fā)和維護周期等問題展開了深入研究，并在此研究的基礎上，提出了一套通用并易于擴展的設備自動化解決方案，包括采用有限自動機（Finite State Machine：FSM）對自動化組合設備建模及實時調(diào)度以及采用S

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論