2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè)，還剩55頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、目前，半導(dǎo)體制造已經(jīng)逐步邁入12英寸（300mm）晶圓時(shí)代，晶圓廠更加依賴于自動(dòng)化來(lái)提高產(chǎn)能，而制造執(zhí)行系統(tǒng)（Manufacturing Execution System：MES）如何與半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行整合，從而高效準(zhǔn)確地控制設(shè)備，它們之間的橋梁-設(shè)備自動(dòng)化（Equipment Automation Process：EAP）系統(tǒng)就顯得尤為重要了。
　　 目前國(guó)內(nèi)多數(shù)芯片制造廠仍為8英寸晶圓廠，只能算作半自動(dòng)化。而12英寸晶圓廠的設(shè)

2、備自動(dòng)化系統(tǒng)也存在一定問(wèn)題。例如自動(dòng)化組合設(shè)備的調(diào)度性能問(wèn)題；設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)開發(fā)及升級(jí)周期長(zhǎng)、維護(hù)困難等問(wèn)題，這些都嚴(yán)重影響著半導(dǎo)體公司的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
　　 本論文正是基于此，對(duì)如何高效控制自動(dòng)化組合設(shè)備以及如何縮短系統(tǒng)開發(fā)和維護(hù)周期等問(wèn)題展開了深入研究，并在此研究的基礎(chǔ)上，提出了一套通用并易于擴(kuò)展的設(shè)備自動(dòng)化解決方案，包括采用有限自動(dòng)機(jī)（Finite State Machine：FSM）對(duì)自動(dòng)化組合設(shè)備建模及實(shí)時(shí)調(diào)度以及采用S

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論