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文檔簡介
1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文12寸半導(dǎo)體測試廠自動化研究姓名：郭旭棋申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：軟件工程指導(dǎo)教師：汪輝胡毓麟20071022圖4.7FOUP與OpenCassette之差異圖..............................................................41圖4.88寸與12寸Prober測試探針機(jī)臺之差異圖.......................................
2、.....42圖4.9半導(dǎo)體設(shè)備的通訊協(xié)議架構(gòu)圖...................................................................44圖4.10GEM的功能范圍圖......................................................................................55圖4.11FOUPON程序流程圖.........
3、.........................................................................59圖4.12LoadWafer程序流程圖............................................................................61圖4.13StartWafer程序流程圖............................
4、..............................................62圖4.14ProcessStart程序流程圖......................................................................63圖4.15ProcessComplete程序流程圖.....................................................
5、...........64圖4.16FOUPUnload程序流程圖..........................................................................65圖4.1712寸測試探針機(jī)臺FailDieRetestFunction架構(gòu)圖......................66圖4.18TSKUF3000Prober模擬測試架構(gòu)圖......................
6、...............................68圖4.19MES計(jì)算機(jī)Hostname設(shè)定圖..................................................................69圖4.20EAP計(jì)算機(jī)網(wǎng)卡1設(shè)定圖..........................................................................69圖4.2
7、1EAP計(jì)算機(jī)網(wǎng)卡2設(shè)定圖..........................................................................70圖4.22SECS通訊協(xié)議測試設(shè)定圖........................................................................70圖4.23通訊測試結(jié)果圖...........................
8、..............................................................71圖4.24Prober實(shí)體通訊架構(gòu)圖..............................................................................71圖4.25TSKUF3000Prober機(jī)臺通訊之結(jié)果圖..............................
9、....................72圖4.26MES計(jì)算機(jī)之通訊1結(jié)果圖.....................................................................72圖4.27MES計(jì)算機(jī)之通訊2結(jié)果圖.....................................................................73圖4.28EAP計(jì)算機(jī)之通訊結(jié)果圖...
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