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1、該文主要研究一種MEMS器件--多晶硅熱驅(qū)動(dòng)微執(zhí)行器的工作狀態(tài)計(jì)算機(jī)模擬.盡管MEMS近年來(lái)得到了廣泛的研究,但對(duì)于微執(zhí)行器的關(guān)注仍然不如微傳感器.該文首先綜述了5種常見(jiàn)的熱驅(qū)動(dòng)微執(zhí)行器工作原理,并比較了各自的優(yōu)劣.其中一種--彎曲梁結(jié)構(gòu)--在文中進(jìn)行了模擬.研究人員建立了結(jié)構(gòu)的溫度模型.這個(gè)模型綜合考慮了傳導(dǎo)、對(duì)流和輻射等傳熱效應(yīng),因此較從前的模型精確,但方程也復(fù)雜一些.用同倫方法將非線(xiàn)性方程離散為一系旬線(xiàn)性方程,可以用來(lái)求解這個(gè)模型
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