回轉(zhuǎn)式壓電微角度執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)控制及檢測(cè)系統(tǒng)的研究.pdf

1、微位移驅(qū)動(dòng)技術(shù)是當(dāng)今世界各國(guó)研究的熱點(diǎn)問(wèn)題，是納米測(cè)量及加工技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)之一。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在電子、光學(xué)、生物、制造等眾多技術(shù)領(lǐng)域中，迫切需要高精度、高分辨力、能夠靈活控制的驅(qū)動(dòng)控制及檢測(cè)系統(tǒng)，用以直接進(jìn)行有關(guān)工作或配合其它儀器設(shè)備完成高精度的研究和應(yīng)用。正是這些需要，極大地促進(jìn)了位移驅(qū)動(dòng)定位技術(shù)的發(fā)展。在納米技術(shù)的許多領(lǐng)域，迫切需要大行程高分辨力的驅(qū)動(dòng)定位及檢測(cè)系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)高精度的定位。
　　 課題對(duì)角位移驅(qū)動(dòng)定位技

2、術(shù)進(jìn)行了探索。在已有的回轉(zhuǎn)式壓電微角度執(zhí)行器的基礎(chǔ)上研究其驅(qū)動(dòng)控制和角度檢測(cè)技術(shù)，設(shè)計(jì)出一種多功能的驅(qū)動(dòng)控制及檢測(cè)系統(tǒng)，可以提供不同的波形、頻率及幅值的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來(lái)控制壓電執(zhí)行器的運(yùn)動(dòng)，同時(shí)采用分立元件法研究出高精度、高穩(wěn)定性的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源。
　　 壓電微角度執(zhí)行器運(yùn)用了“推拉接力原理”和柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)進(jìn)行微位移運(yùn)動(dòng)，同時(shí)又集成了圓光柵作為角位移傳感器檢測(cè)運(yùn)動(dòng)角位移。驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)以DSP芯片為核心，輸出頻率、幅值和步數(shù)可調(diào)的