脈沖激光沉積梯度摻雜復合金屬薄膜.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、梯度摻雜薄膜因漸變的物理、化學組分而具有漸變的有用物理、機械等結構性能,成為新材料開發(fā)的研究熱點.該論文研究了用脈沖激光沉積技術在Si(100)基片上沉積金屬摻雜薄膜的工藝過程,并對制得薄膜進行了微觀生長結構和組分分析.對激光一金屬靶材作用微觀機理給出了闡述,用蒙特卡羅方法模擬了質(zhì)量數(shù)相差較大的二元組分金屬靶粒子在真空背景中的輸運過程.用脈沖激光對Ag、Mg、Al、Cu等靶材依次作用,發(fā)現(xiàn)其沉積率依次降低,發(fā)現(xiàn)純金屬靶要求有較高的脈沖激

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